EMS電鏡耗材通過(guò)微孔可觀(guān)察到碳顆粒的晶面間距，膜上形成的多晶金團簇，在這些團簇的邊緣可分辨出晶格，此樣品還可以通過(guò)標注鍍金膜上孔內碳的沉積率來(lái)測定電鏡的混染率。帶有乳膠狀顆粒的網(wǎng)狀格柵，既可以利用格柵間距進(jìn)行放大倍數校正，又可通過(guò)測量格柵上乳膠顆粒的大小來(lái)進(jìn)行校正，特別適用于透射電鏡更高放大倍數的校正。利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息。

    掃描電子顯微鏡正是根據上述不同信息產(chǎn)生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實(shí)現。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀(guān)形貌的信息，對x射線(xiàn)的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
    而當放大率倍數較高的時(shí)候，復雜的波動(dòng)作用會(huì )造成成像的亮度的不同，因此需要專(zhuān)業(yè)知識來(lái)對所得到的像進(jìn)行分析。通過(guò)使用TEM不同的模式，可以通過(guò)物質(zhì)的化學(xué)特性、晶體方向、電子結構、樣品造成的電子相移以及通常的對電子吸收對樣品成像。